电磁辐射分为电离辐射和非电离辐射。电磁辐射包括电力、无线电波、微波、太赫兹辐射、红外辐射、可见光、紫外辐射X射线和γ按照频率越来越高的顺序排列射线。其中紫外线、X射线、γ由于能级高，射线可以对人体细胞产生电离作用，也称为高能射线，也称为电离辐射。电离辐射也以波的形式传播。X射线和γ与其能力强于其他类型的辐射，称为电离辐射。
利用x射线荧光光谱仪进行定量分析的时候，大致可以分为3个方法。
1、是制作测量线的方法（经验系数法）。这个方法是测定几点实际的已知浓度样品，寻求想测定元素的X荧光光谱仪X射线强度和浓度之间的关系，以其结果为基础测定未知样品的X荧光光谱仪X射线，从而得到浓度值。
2、是理论演算的基础参数法（FP法）。这个方法在了解样品的构成和元素种类前提，利用计算的各个X荧光光谱仪X射线强度的理论值，推测测定得到未知样品各个元素的X荧光光谱仪X射线强度的组成一致。
3、参数计算出样品中每个元素的一次和二次特征X射线荧光强度的。基于此再计算Lachance综合校正系数，然后使用这些理论α系数去校正元素间的吸收增应。它与经验系数法不同，这些校正系数是从“理论”上的，而非建立在“经验”上。因而它也不需要那么多的标样，只要少数标样来校准仪器因子。
1、分析速度高。测定用的时间与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。
2、X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。大多数分析元素均可用其进行分析，可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围为Be到U。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定。
3、非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
4、X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。
5、分析精密度高。
6、制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
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