利用原级X射线光子或其他微观粒子激发待测物质中的原子,使之产生荧光 (次级X射线)而进行物质成分分析和化学态研究的方法。在成分分析方面,X射线荧光光谱分析法是现代常规分析中的一种重要方法。
荧光x射线分析仪按其性能和应用范围,可分为实验室用的X射线荧光光谱仪和能谱仪、小型便携式X射线荧光分析仪及工业上的仪器。
定性和半定量分析具有谱线简单、不破坏样品、基体的吸收和增强效应较易克服、操作简便、测定迅速等优点,较适合于作野外和现场分析,而且一般使用便携式X射线荧光分析仪,即可达到目的。如在室内使用X射线能谱仪,则可一次在荧光屏上显示出全谱,对物质的主次成分一目了然,有其独到之处。
定量分析可分为两类,即实验校正法(或称标准工作曲线法)和数学校正法。它们都是以分析元素的X射线荧光(标识线)强度与含量具有一定的定量关系为基础的。70年代以前,数学校正法发展较慢,主要用于一些组成比较简单的物料方面;大量采用的是实验校正法。其中常用的有外标法、内标法、散射线标准法、增量法、质量衰减系数测定法和发射-吸收法等。70年代以后,随着X射线荧光分析理论和方法的深入发展,以及仪器自动化和计算机化程度的迅速提高,人们普遍采用数学校正法。其中主要包括经验系数法、基本参数法和经验系数与基本参数联用法等。应用这些方法于各种不同分析对象,可有效地计算和校正由于基体的吸收和增强效应对分析结果的影响。对于谱线干扰和计数死时间,也可以得到有效的校正。这些方法除基本参数法外,一般都比较迅速、方便,而且准确度更高。在许多领域中,无论是少量或常量元素分析,其结果足与经典的化学分析法媲美,因而在常规分析中,X射线荧光分析法和原子吸收光谱法、等离子体光谱分析法一起,并列为仪器分析的主要手段。