x射线光电子能谱分析仪器经常又被称为化学分析用电子谱，是一种zui主要的表面分析工具。XPS作为当代谱学领域中zui活跃的分支之一，它除了可以根据测得的电子结合能确定样品的化学成份外，XPSzui重要的应用在于确定元素的化合状态。XPS可以分析导体、半导体甚至绝缘体表面的价态，这也是XPS的一大特色，是区别于其它表面分析方法的主要特点。此外，配合离子束剥离技术和变角XPS技术，还可以进行薄膜材料的深度分析和界面分析。
如何评价x射线光电子能谱分析仪器的优劣呢？
x射线光电子能谱分析仪器的优点：
1.分析速度快；能谱仪可以同时接受和检测所有不同能量的X射线光子信号，故可在几分钟内分析和确定样品中含有的所有元素。
2.灵敏度高；X射线收集立体角大。由于能谱仪中Si（Li）探头可以放在离发射源很近的地方，无需经过晶体衍射，信号强度几乎没有损失，所以灵敏度高。此外，能谱仪可在低入射电子束流条件下工作，这有利于提高分析的空间分辨率。
3.谱线重复性好；由于能谱仪没有运动部件，稳定性好，且没有聚焦要求，所以谱线峰值位置的重复性好且不存在失焦问题，适合于比较粗糙表面的分析工作。
x射线光电子能谱分析仪器的缺点：
1.能量分辨率低，峰背比低。由于能谱仪的探头直接对着样品，所以由背散射电子或X射线所激发产生的荧光X射线信号也被同时检测到，从而使得Si（Li）检测器检测到的特征谱线在强度提高的同时，背底也相应提高，谱线的重叠现象严重。故仪器分辨不同能量特征X射线的能力变差。能谱仪的能量分辨率比波谱仪的能量分辨率低。
2.工作条件要求严格。Si（Li）探头必须始终保持在液氦冷却的低温状态，即使是在不工作时也不能中断，否则晶体内Li的浓度分布状态就会因扩散而变化，导致探头功能下降甚至*被破坏。
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